項(xiàng)目

描述

垂直量程

±25μm、±200μm

系統(tǒng)分辨率

滿量程8納米

顯示分辨率

0.001μm

針尖半徑

2μm或5μ

濾波方式

GAUSS、2RC、ISO13565

標(biāo)準(zhǔn)

IOS1997、ANSI、JIS2001

取樣長(zhǎng)度L/驅(qū)動(dòng)速度Vt

L=0.08mm/Vt=0.25mm/s
L=0.25mm/Vt=0.25mm/s
L=0.8mm/Vt=0.5mm/s
L=2.5mm/Vt=1mm/s
返程速度為1mm/s

評(píng)定長(zhǎng)度Ln

Ln=(1-5)L

示值誤差/示值重復(fù)性

10%/6%

測(cè)量參數(shù)

Ra、Rp、Rv、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、Rpc、Rsm、Rmr(C)、tp、Rmr、Rpm、Rz1max、RzJIS、Rmax、Htp、Rδc、RΔq、RΔa、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr1、A1、A2

工作環(huán)境

溫度：0℃ ~ 40℃ 
濕度：< 90% RH

存儲(chǔ)環(huán)境

外形尺寸和重量

156×75×53mm,760g

傳感器驅(qū)動(dòng)套

29×26×120mm

標(biāo)準(zhǔn)配置

主機(jī)、傳感器、驅(qū)動(dòng)器、充電器、樣塊

可選附件

其他傳感器、測(cè)量平臺(tái)